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内容摘要
光刻技术是指利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将设计好的微图形结构转移到覆有感光材料的晶圆、玻璃基板、覆铜板等基材表面上的微纳制造技术,用它加工制造的器件包括:芯片、显示面板、掩膜版、印制电路板等。光刻技术的主要工艺流程包括预处理、涂胶、曝光、显影、刻蚀和去胶等一系列环节,整个工艺流程是一个复杂的过程,各工艺环节互相影响、互相制约,其中曝光是光刻技术中最重要的工艺环节。 按照光源类型划分,光刻机不仅有极紫外光刻机(EUV),还有ArF浸没式光刻机、ArF干式光刻机、KrF光刻机、i-line设备等。 其中,ArF浸没式、ArF干式和KrF都属于深紫外线光刻机(DUV),EUV是目前最先进的光刻机,但DUV其实是当前半导体制造的主力,无论是图像传感器、功率IC、MEMS、模拟IC,还是逻辑IC,主要用DUV进行生产。EUV光刻机主要用来生产7nm、5nm和3nm芯片。 据QYR最新调研,2023年中国芯片生产光刻机市场销售收入达到了 万元,预计2030年可以达到 万元,2024-2030期间年复合增长率(CAGR)为 %。本研究项目旨在梳理芯片生产光刻机领域产品系列,洞悉行业特点、市场存量空间及增量空间,并结合市场发展前景判断芯片生产光刻机领域内各类竞争者所处地位。 目前芯片生产光刻机市场被荷兰ASML、日本 Nikon、Canon 所垄断,其中荷兰 ASML 处于全球领先地位,国内厂商仅有上海微电子等企业能够实现投影式光刻设备的产业化。全球IC前道制造光刻机市场基本由ASML(荷兰)、Nikon(日本)和Canon(日本)三家包揽,其中高端光刻机更是由ASML垄断,ASML是全球唯一一家具备EUV设备生产能力的光刻机厂商。Canon主要提供低端光刻机产品。2022年三者的集成电路用光刻机出货量达到551台,较21年的478台增加73台,涨幅15%;从EUV、ArFi、ArF三个高端机型的出货来看,2022年共出货157台,较2021年的152台增长3.3%,其中ASML出货149台,较2021年增加4台,占据95%市场份额;Nikon出货8台,占据剩余5%的市场份额。根据ASML、Nikon和Canon三家公司的年报,2023年全球半导体IC光刻机总出货量为681台,其中ASML处于主导地位。 本报告研究中国市场芯片生产光刻机的生产、消费及进出口情况,重点关注在中国市场扮演重要角色的全球及本土芯片生产光刻机生产商,呈现这些厂商在中国市场的芯片生产光刻机销量、收入、价格、毛利率、市场份额等关键指标。此外,针对芯片生产光刻机产品本身的细分增长情况,如不同芯片生产光刻机产品类型、价格、销量、收入,不同应用芯片生产光刻机的市场销量等,本文也做了深入分析。历史数据为2019至2023年,预测数据为2024至2030年。 本文主要包括芯片生产光刻机生产商如下: ASML Nikon Canon 上海微电子 按照不同产品类型,包括如下几个类别: EUV光刻机 DUV光刻机 I-line光刻机 按照不同应用,主要包括如下几个方面: 逻辑制程 Memory 其他制程 本文正文共9章,各章节主要内容如下: 第1章:报告统计范围、产品细分及中国总体规模(销量、销售收入等数据,2019-2030年) 第2章:中国市场芯片生产光刻机主要厂商(品牌)竞争分析,主要包括芯片生产光刻机销量、收入、市场份额、价格、产地及行业集中度分析 第3章:中国市场芯片生产光刻机主要厂商(品牌)基本情况介绍,包括公司简介、芯片生产光刻机产品型号、销量、价格、收入及最新动态等 第4章:中国不同产品类型芯片生产光刻机销量、收入、价格及份额等 第5章:中国不同应用芯片生产光刻机销量、收入、价格及份额等 第6章:行业发展环境分析 第7章:供应链分析 第8章:中国本土芯片生产光刻机生产情况分析,及中国市场芯片生产光刻机进出口情况 第9章:报告结论 本报告的关键问题 市场空间:中国芯片生产光刻机行业市场规模情况如何?未来增长情况如何? 产业链情况:中国芯片生产光刻机厂商所在产业链构成是怎样?未来格局会如何演化? 厂商分析:全球芯片生产光刻机领先企业是谁?企业情况怎样?
报告目录
1 芯片生产光刻机市场概述
1.1 产品定义及统计范围
1.2 按照不同产品类型,芯片生产光刻机主要可以分为如下几个类别
1.2.1 中国不同产品类型芯片生产光刻机增长趋势2019 VS 2023 VS 2030
1.2.2 EUV光刻机
1.2.3 DUV光刻机
1.2.4 I-line光刻机
1.3 从不同应用,芯片生产光刻机主要包括如下几个方面
1.3.1 中国不同应用芯片生产光刻机增长趋势2019 VS 2023 VS 2030
1.3.2 逻辑制程
1.3.3 Memory
1.3.4 其他制程
1.4 中国芯片生产光刻机发展现状及未来趋势(2019-2030)
1.4.1 中国市场芯片生产光刻机收入及增长率(2019-2030)
1.4.2 中国市场芯片生产光刻机销量及增长率(2019-2030)
2 中国市场主要芯片生产光刻机厂商分析
2.1 中国市场主要厂商芯片生产光刻机销量及市场占有率
2.1.1 中国市场主要厂商芯片生产光刻机销量(2019-2024)
2.1.2 中国市场主要厂商芯片生产光刻机销量市场份额(2019-2024)
2.2 中国市场主要厂商芯片生产光刻机收入及市场占有率
2.2.1 中国市场主要厂商芯片生产光刻机收入(2019-2024)
2.2.2 中国市场主要厂商芯片生产光刻机收入市场份额(2019-2024)
2.2.3 2023年中国市场主要厂商芯片生产光刻机收入排名
2.3 中国市场主要厂商芯片生产光刻机价格(2019-2024)
2.4 中国市场主要厂商芯片生产光刻机总部及产地分布
2.5 中国市场主要厂商成立时间及芯片生产光刻机商业化日期
2.6 中国市场主要厂商芯片生产光刻机产品类型及应用
2.7 芯片生产光刻机行业集中度、竞争程度分析
2.7.1 芯片生产光刻机行业集中度分析:2023年中国Top 5厂商市场份额
2.7.2 中国市场芯片生产光刻机第一梯队、第二梯队和第三梯队厂商(品牌)及2023年市场份额
2.8 新增投资及市场并购活动
3 主要企业简介
3.1 ASML
3.1.1 ASML基本信息、芯片生产光刻机生产基地、总部、竞争对手及市场地位
3.1.2 ASML 芯片生产光刻机产品规格、参数及市场应用
3.1.3 ASML在中国市场芯片生产光刻机销量、收入、价格及毛利率(2019-2024)
3.1.4 ASML公司简介及主要业务
3.1.5 ASML企业最新动态
3.2 Nikon
3.2.1 Nikon基本信息、芯片生产光刻机生产基地、总部、竞争对手及市场地位
3.2.2 Nikon 芯片生产光刻机产品规格、参数及市场应用
3.2.3 Nikon在中国市场芯片生产光刻机销量、收入、价格及毛利率(2019-2024)
3.2.4 Nikon公司简介及主要业务
3.2.5 Nikon企业最新动态
3.3 Canon
3.3.1 Canon基本信息、芯片生产光刻机生产基地、总部、竞争对手及市场地位
3.3.2 Canon 芯片生产光刻机产品规格、参数及市场应用
3.3.3 Canon在中国市场芯片生产光刻机销量、收入、价格及毛利率(2019-2024)
3.3.4 Canon公司简介及主要业务
3.3.5 Canon企业最新动态
3.4 上海微电子
3.4.1 上海微电子基本信息、芯片生产光刻机生产基地、总部、竞争对手及市场地位
3.4.2 上海微电子 芯片生产光刻机产品规格、参数及市场应用
3.4.3 上海微电子在中国市场芯片生产光刻机销量、收入、价格及毛利率(2019-2024)
3.4.4 上海微电子公司简介及主要业务
3.4.5 上海微电子企业最新动态
4 不同产品类型芯片生产光刻机分析
4.1 中国市场不同产品类型芯片生产光刻机销量(2019-2030)
4.1.1 中国市场不同产品类型芯片生产光刻机销量及市场份额(2019-2024)
4.1.2 中国市场不同产品类型芯片生产光刻机销量预测(2025-2030)
4.2 中国市场不同产品类型芯片生产光刻机规模(2019-2030)
4.2.1 中国市场不同产品类型芯片生产光刻机规模及市场份额(2019-2024)
4.2.2 中国市场不同产品类型芯片生产光刻机规模预测(2025-2030)
4.3 中国市场不同产品类型芯片生产光刻机价格走势(2019-2030)
5 不同应用芯片生产光刻机分析
5.1 中国市场不同应用芯片生产光刻机销量(2019-2030)
5.1.1 中国市场不同应用芯片生产光刻机销量及市场份额(2019-2024)
5.1.2 中国市场不同应用芯片生产光刻机销量预测(2025-2030)
5.2 中国市场不同应用芯片生产光刻机规模(2019-2030)
5.2.1 中国市场不同应用芯片生产光刻机规模及市场份额(2019-2024)
5.2.2 中国市场不同应用芯片生产光刻机规模预测(2025-2030)
5.3 中国市场不同应用芯片生产光刻机价格走势(2019-2030)
6 行业发展环境分析
6.1 芯片生产光刻机行业发展分析---发展趋势
6.2 芯片生产光刻机行业发展分析---厂商壁垒
6.3 芯片生产光刻机行业发展分析---驱动因素
6.4 芯片生产光刻机行业发展分析---制约因素
6.5 芯片生产光刻机中国企业SWOT分析
6.6 芯片生产光刻机行业发展分析---行业政策
6.6.1 行业主管部门及监管体制
6.6.2 行业相关政策动向
6.6.3 行业相关规划
7 行业供应链分析
7.1 芯片生产光刻机行业产业链简介
7.2 芯片生产光刻机产业链分析-上游
7.3 芯片生产光刻机产业链分析-中游
7.4 芯片生产光刻机产业链分析-下游
7.5 芯片生产光刻机行业采购模式
7.6 芯片生产光刻机行业生产模式
7.7 芯片生产光刻机行业销售模式及销售渠道
8 中国本土芯片生产光刻机产能、产量分析
8.1 中国芯片生产光刻机供需现状及预测(2019-2030)
8.1.1 中国芯片生产光刻机产能、产量、产能利用率及发展趋势(2019-2030)
8.1.2 中国芯片生产光刻机产量、市场需求量及发展趋势(2019-2030)
8.2 中国芯片生产光刻机进出口分析
8.2.1 中国市场芯片生产光刻机主要进口来源
8.2.2 中国市场芯片生产光刻机主要出口目的地
9 研究成果及结论
10 附录
10.1 研究方法
10.2 数据来源
10.2.1 二手信息来源
10.2.2 一手信息来源
10.3 数据交互验证
10.4 免责声明
报告图表
表格目录 表 1: 不同产品类型芯片生产光刻机市场规模2019 VS 2023 VS 2030(万元) 表 2: 不同应用芯片生产光刻机市场规模2019 VS 2023 VS 2030(万元) 表 3: 中国市场主要厂商芯片生产光刻机销量(2019-2024)&(台) 表 4: 中国市场主要厂商芯片生产光刻机销量市场份额(2019-2024) 表 5: 中国市场主要厂商芯片生产光刻机收入(2019-2024)&(万元) 表 6: 中国市场主要厂商芯片生产光刻机收入份额(2019-2024) 表 7: 2023年中国主要生产商芯片生产光刻机收入排名(万元) 表 8: 中国市场主要厂商芯片生产光刻机价格(2019-2024)&(元/台) 表 9: 中国市场主要厂商芯片生产光刻机总部及产地分布 表 10: 中国市场主要厂商成立时间及芯片生产光刻机商业化日期 表 11: 中国市场主要厂商芯片生产光刻机产品类型及应用 表 12: 2023年中国市场芯片生产光刻机主要厂商市场地位(第一梯队、第二梯队和第三梯队) 表 13: 芯片生产光刻机市场投资、并购等现状分析 表 14: ASML 芯片生产光刻机生产基地、总部、竞争对手及市场地位 表 15: ASML 芯片生产光刻机产品规格、参数及市场应用 表 16: ASML 芯片生产光刻机销量(台)、收入(万元)、价格(元/台)及毛利率(2019-2024) 表 17: ASML公司简介及主要业务 表 18: ASML企业最新动态 表 19: Nikon 芯片生产光刻机生产基地、总部、竞争对手及市场地位 表 20: Nikon 芯片生产光刻机产品规格、参数及市场应用 表 21: Nikon 芯片生产光刻机销量(台)、收入(万元)、价格(元/台)及毛利率(2019-2024) 表 22: Nikon公司简介及主要业务 表 23: Nikon企业最新动态 表 24: Canon 芯片生产光刻机生产基地、总部、竞争对手及市场地位 表 25: Canon 芯片生产光刻机产品规格、参数及市场应用 表 26: Canon 芯片生产光刻机销量(台)、收入(万元)、价格(元/台)及毛利率(2019-2024) 表 27: Canon公司简介及主要业务 表 28: Canon企业最新动态 表 29: 上海微电子 芯片生产光刻机生产基地、总部、竞争对手及市场地位 表 30: 上海微电子 芯片生产光刻机产品规格、参数及市场应用 表 31: 上海微电子 芯片生产光刻机销量(台)、收入(万元)、价格(元/台)及毛利率(2019-2024) 表 32: 上海微电子公司简介及主要业务 表 33: 上海微电子企业最新动态 表 34: 中国市场不同产品类型芯片生产光刻机销量(2019-2024)&(台) 表 35: 中国市场不同产品类型芯片生产光刻机销量市场份额(2019-2024) 表 36: 中国市场不同产品类型芯片生产光刻机销量预测(2025-2030)&(台) 表 37: 中国市场不同产品类型芯片生产光刻机销量市场份额预测(2025-2030) 表 38: 中国市场不同产品类型芯片生产光刻机规模(2019-2024)&(万元) 表 39: 中国市场不同产品类型芯片生产光刻机规模市场份额(2019-2024) 表 40: 中国市场不同产品类型芯片生产光刻机规模预测(2025-2030)&(万元) 表 41: 中国市场不同产品类型芯片生产光刻机规模市场份额预测(2025-2030) 表 42: 中国市场不同应用芯片生产光刻机销量(2019-2024)&(台) 表 43: 中国市场不同应用芯片生产光刻机销量市场份额(2019-2024) 表 44: 中国市场不同应用芯片生产光刻机销量预测(2025-2030)&(台) 表 45: 中国市场不同应用芯片生产光刻机销量市场份额预测(2025-2030) 表 46: 中国市场不同应用芯片生产光刻机规模(2019-2024)&(万元) 表 47: 中国市场不同应用芯片生产光刻机规模市场份额(2019-2024) 表 48: 中国市场不同应用芯片生产光刻机规模预测(2025-2030)&(万元) 表 49: 中国市场不同应用芯片生产光刻机规模市场份额预测(2025-2030) 表 50: 芯片生产光刻机行业发展分析---发展趋势 表 51: 芯片生产光刻机行业发展分析---厂商壁垒 表 52: 芯片生产光刻机行业发展分析---驱动因素 表 53: 芯片生产光刻机行业发展分析---制约因素 表 54: 芯片生产光刻机行业相关重点政策一览 表 55: 芯片生产光刻机行业供应链分析 表 56: 芯片生产光刻机上游原料供应商 表 57: 芯片生产光刻机行业主要下游客户 表 58: 芯片生产光刻机典型经销商 表 59: 中国芯片生产光刻机产量、销量、进口量及出口量(2019-2024)&(台) 表 60: 中国芯片生产光刻机产量、销量、进口量及出口量预测(2025-2030)&(台) 表 61: 中国市场芯片生产光刻机主要进口来源 表 62: 中国市场芯片生产光刻机主要出口目的地 表 63: 研究范围 表 64: 本文分析师列表 图表目录 图 1: 芯片生产光刻机产品图片 图 2: 中国不同产品类型芯片生产光刻机市场规模市场份额2023 & 2030 图 3: EUV光刻机产品图片 图 4: DUV光刻机产品图片 图 5: I-line光刻机产品图片 图 6: 中国不同应用芯片生产光刻机市场份额2023 & 2030 图 7: 逻辑制程 图 8: Memory 图 9: 其他制程 图 10: 中国市场芯片生产光刻机市场规模, 2019 VS 2023 VS 2030(万元) 图 11: 中国市场芯片生产光刻机收入及增长率(2019-2030)&(万元) 图 12: 中国市场芯片生产光刻机销量及增长率(2019-2030)&(台) 图 13: 2023年中国市场主要厂商芯片生产光刻机销量市场份额 图 14: 2023年中国市场主要厂商芯片生产光刻机收入市场份额 图 15: 2023年中国市场前五大厂商芯片生产光刻机市场份额 图 16: 2023年中国市场芯片生产光刻机第一梯队、第二梯队和第三梯队厂商(品牌)及市场份额 图 17: 中国市场不同产品类型芯片生产光刻机价格走势(2019-2030)&(元/台) 图 18: 中国市场不同应用芯片生产光刻机价格走势(2019-2030)&(元/台) 图 19: 芯片生产光刻机中国企业SWOT分析 图 20: 芯片生产光刻机产业链 图 21: 芯片生产光刻机行业采购模式分析 图 22: 芯片生产光刻机行业生产模式分析 图 23: 芯片生产光刻机行业销售模式分析 图 24: 中国芯片生产光刻机产能、产量、产能利用率及发展趋势(2019-2030)&(台) 图 25: 中国芯片生产光刻机产量、市场需求量及发展趋势(2019-2030)&(台) 图 26: 关键采访目标 图 27: 自下而上及自上而下验证 图 28: 资料三角测定
本文地址:
https://www.qyresearch.com.cn/reports/4386384/chip-production-lithography-machine
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